電漿測試片(PTF)

描述

【用途】

• 適用產業

PCB、半導體、顯示器、光學元件、醫療器械…等任何採用電漿處理設備的廠商。

• 設備管理優化

透過量測電漿處理前後的PTF重量損失，監控腔內各區域  的加工穩定性，及時發現設備問題，控制可能的產線損失，提高良率。

• 輔助製程優化

透過準確、具可靠性的測試結果，輔助工程人員將參數最佳化。